[发明专利]用于金属膜的CMP浆料组合物和抛光方法有效
| 申请号： | 201780039537.0 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109415598B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 朴京主;俞龙植 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈敬亭;曲在丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的用于金属膜的CMP浆料组合物包含磨粒、溶剂、氧化剂、金属离子和还原剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属膜 cmp 浆料 组合 抛光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于金属层的CMP浆料组合物，其包含：磨粒；溶剂；氧化剂；金属离子；和还原剂。
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