[发明专利]用于表面声波器件的混合结构有效
| 申请号： | 201780040275.X | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109417124B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 格维塔兹·戈丹;I·于耶 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H03H9/02;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘爱勤;黄纶伟 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于表面声波器件的混合结构(100)，所述混合结构(100)包括压电材料的有用层(10)，所述有用层(10)具有自由的第一面(1)和设置在支撑衬底(20)上的第二面(2)，所述支撑衬底(20)具有低于所述有用层(10)的热膨胀系数的热膨胀系数。所述混合结构(100)的特征在于，所述混合结构(100)包括：设置在所述有用层(10)与所述支撑衬底(20)之间的俘获层(30)；以及位于所述有用层(10)与所述俘获层(30)之间的具有预先确定的粗糙度的至少一个功能界面(31)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 声波 器件 混合结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于表面声波器件的混合结构(100)，所述混合结构(100)包括压电材料的有用层(10)，所述有用层(10)具有自由的第一面(1)和被放置在支撑衬底(20)上的第二面(2)，所述支撑衬底(20)的热膨胀系数低于所述有用层(10)的热膨胀系数，所述混合结构(100)的特征在于，所述混合结构(100)包括：·夹在所述有用层(10)与所述支撑衬底(20)之间的俘获层(30)；·位于所述有用层(10)与所述俘获层(30)之间的具有大于0.3微米的峰谷振幅的具有确定的粗糙度的至少一个功能界面(31)。
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