[发明专利]微机械谐振器和用于微机械谐振器的方法有效
| 申请号： | 201780040390.7 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109417368B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | A·亚科拉;T·潘萨拉;A·奥加;P·派克;J·R·德克 | 申请（专利权）人： | 芬兰国家技术研究中心股份公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;H03H3/007 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 郭万方 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开描述微机械谐振器、用于谐振器的谐振器元件以及用于微调谐振器的方法。谐振器包括具有长度、宽度和厚度的谐振器元件，其中所述长度和所述宽度限定谐振器元件的平面。谐振器元件在谐振器元件的平面中包括至少两个区域(52、53)，其中所述至少两个区域具有不同的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振器 用于 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机械谐振器，所述微机械谐振器包括具有长度、宽度和厚度的谐振器元件，所述长度和所述宽度限定所述谐振器元件的平面，其特征在于所述谐振器元件包括：在所述谐振器元件的所述平面中的至少两个区域，其中所述至少两个区域具有不同的厚度。
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