[发明专利]工作台系统、光刻设备、用于定位的方法以及器件制造方法有效
| 申请号： | 201780040835.1 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN109416513B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | S·M·J·詹森斯;B·D·肖尔滕;S·N·L·唐德斯;T·范达姆;P·奥韦尔谢伊;T·M·斯帕恩-布尔克;S·A·特罗普 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于定位的系统、工作台系统、光刻设备、用于定位的方法以及其中利用了工作台系统的用于制造器件的方法。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 系统 光刻 设备 用于 定位 方法 以及 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于定位物体的工作台系统，所述工作台系统包括：载物台，所述载物台适于支撑要被定位的所述物体，所述载物台设置有多个空气轴承装置，其中每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面，主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口，辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的排放开口，其中所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780040835.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
