[发明专利]检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置有效
| 申请号： | 201780041407.0 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN109477803B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 安江健造 | 申请（专利权）人： | 吉野石膏株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;苏琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法，具有：对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤；针对摄影步骤中获得的原图像，通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤；及使用所述数值化步骤中生成的图像，对所述被检查物进行判定的判定步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 通知 包括 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法，其特征在于，具有：对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤；针对摄影步骤所获得的原图像，通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤；及使用所述数值化步骤中生成的图像对所述被检查物进行判定的判定步骤。
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