[发明专利]法布里-珀罗干涉滤光器有效
| 申请号： | 201780041830.0 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109477959B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;尹明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)；及第一端子(15)；并且，中间层(23)具有包围第一端子(15)的第一内侧面(23d)，第一内侧面(23d)以如下方式弯曲：中间层的基板侧的缘部比中间层的与基板相反的一侧的缘部位于更靠向第一端子侧的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 法布里 干涉 滤光 | ||
【主权项】：
1.一种法布里‑珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙；固定电极，其设置于所述第一层；相对电极，其以与所述固定电极相对的方式设置于所述第二层；以及第一端子，其从所述第二层的与所述中间层相反的一侧的表面向所述第一层形成且与所述固定电极电连接，并且，所述中间层具有以包围所述第一端子的方式形成的第一内侧面，所述第一内侧面以如下方式弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向所述第一端子侧的位置。
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