[发明专利]多功能型基板检查装置以及多功能型基板检查方法

摘要

本发明提供能够使探头选择性地进行接触的多功能型基板检查装置。具备：植入设置有能够按照基板30的表面10、20不同而接触的不同长度的探头111～217的第一、第二探头基台100、200；使它们的间隔接近或者远离的驱动单元50；能够在它们之间载置基板30的中间板300；植入设置于第一探头基台100，能够通过基于驱动单元50的驱动力F经由第一作用单元61的作用力F1来按压基板30的伸缩自如的第一柱60或与其同等的伸缩性支撑机构60；使基板30从中间板300远离的第二作用单元42；以及使中间板300从第二探头基台200远离的第三作用单元43，使探头111～217与长度的差异对应地选择性地与基板30接触。

主权项

1.一种多功能型基板检查装置，其使与检查功能的切换对应地选择的探头与被检查基板接触，该多功能型基板检查装置具备：第一探头基台，其植入设置有能够与所述被检查基板的第一表面接触且不同长度的所述探头；第二探头基台，其植入设置有能够与所述被检查基板的第二表面接触且不同长度的所述探头；中间板，其位于所述第一探头基台和所述第二探头基台之间并能够载置所述被检查基板；驱动单元，其产生使所述第一探头基台和所述第二探头基台的间隔距离变化的驱动力；伸缩自如的第一柱或与其同等的伸缩性支撑机构，其植入设置于所述第一探头基台，能够通过所述驱动力经由第一作用单元的作用力来按压所述被检查基板的第一表面；第二作用单元，其使所述被检查基板从所述中间板远离；第二柱，其将所述中间板和所述被检查基板的面对姿势维持为平行且将使其接近或远离的动作限制在既定范围内；第三作用单元，其使所述中间板从所述第二探头基台远离；第三柱，其将所述中间板和所述第二探头基台的面对姿势维持为平行且将使其接近或远离的动作限制在既定范围内；控制部，其使所述驱动单元产生能够抵抗所述第二作用单元以及所述第三作用单元的作用力的多阶段的所述驱动力；以及检查电路，其能够通过该控制部切换检查功能，该多功能型基板检查装置使所述探头与长度对应地选择性地进行接触。