[发明专利]气体测量系统有效

专利信息
申请号: 201780043623.9 申请日: 2017-07-25
公开(公告)号: CN109477790B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: P·泽梅克;R·M·卡兰杰洛;叶宏柯;A·赖特 申请(专利权)人: MKS仪器公司
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31;G01N21/01;G01N1/24
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 沈锦华
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本文中呈现用于将天然气管路中的例如H2S或H2O等痕量级及/或超痕量级的物质量化的系统及方法。所述系统及方法采用可调谐激光器,例如可调谐二极管激光器、垂直腔面发射激光器VCSEL、外部腔二极管激光器或垂直外部腔面发射激光器VECSEL或者可调谐量子级联激光器QCL。所述激光器以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度产生在一组一或多个相对狭窄的高分辨率波长频带内的输出束。包括痕量级所关注物质的天然气样本通过流动池,来自所述激光器的所述输出束被引导到所述流动池中。光学检测器从所述流动池接收光,产生指示吸收衰减的信号,依据所述信号确定所述痕量物质的浓度。
搜索关键词: 气体 测量 系统
【主权项】:
1.一种用于测量天然气样本中的痕量级及/或超痕量的第一气体的光谱测量系统,所述系统包括:激光器,其用于以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度在一组一或多个离散或连续的波长频带内产生在所述一组一或多个离散或连续的波长频带内的输出束;传输光学器件,其用于将所述输出束从可调谐二极管激光器引导及/或成形到所述天然气样本;光学检测器,其用于从所述天然气样本接收光且产生与所述所接收到的光对应的检测器信号;及计算装置的处理器及上面存储有指令的存储器(非暂时性计算机可读媒体),其中所述指令在由所述处理器执行时致使所述处理器依据与所述所接收到的光对应的所述信号来计算所述天然气样本中的所述痕量级及/或超痕量级的所述第一气体。
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