[发明专利]气体测量系统有效
申请号: | 201780043623.9 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109477790B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | P·泽梅克;R·M·卡兰杰洛;叶宏柯;A·赖特 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31;G01N21/01;G01N1/24 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本文中呈现用于将天然气管路中的例如H |
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搜索关键词: | 气体 测量 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量天然气样本中的痕量级及/或超痕量的第一气体的光谱测量系统,所述系统包括:激光器,其用于以从约0.1Hz到约1000Hz的扫描频度在一组一或多个离散或连续的波长频带内产生在所述一组一或多个离散或连续的波长频带内的输出束;传输光学器件,其用于将所述输出束从可调谐二极管激光器引导及/或成形到所述天然气样本;光学检测器,其用于从所述天然气样本接收光且产生与所述所接收到的光对应的检测器信号;及计算装置的处理器及上面存储有指令的存储器(非暂时性计算机可读媒体),其中所述指令在由所述处理器执行时致使所述处理器依据与所述所接收到的光对应的所述信号来计算所述天然气样本中的所述痕量级及/或超痕量级的所述第一气体。
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