[发明专利]用于提供高频能量的电路设备和用于产生放电的系统

摘要

实现一种电路设备（12），其用于提供高频能量以便在真空室（2）中产生放电、尤其用于等离子体产生，所述电路设备具有：直流电压电源（13）、升压转换器开关电路（16）和控制单元（17）。所述直流电压电源（13）提供直流电压（Ucc）。所述升压转换器开关电路包含由电感（18）和可控制的开关（19）组成的串联电路，其中，所述电感（18）连接在所述直流电压电源（13）的一极（21）和所述开关（19）的第一电极（D）之间。所述开关（19）的第二电极（S）接地，并且所述开关（19）此外具有控制电极（G）。所述控制单元（17）被设置用于高频地控制所述开关（19），以便在所述开关（19）的第一电极（D）上产生具有周期性的、脉冲式输出电压（UDS）的高频能量，所述输出电压的峰量值大于所述直流电压电源（13）的直流电压（Ucc）的量值。直接地、在无转换的情况下在输出接头（24）上输出具有输出电压（UDS）的高频能量，所述输出接头（24）被确定用于与所述真空室（2）的电极（8）直接连接。同样实现一种具有这样的电路设备（12）的用于产生放电的系统、尤其低压等离子体系统。

主权项

1.一种用于提供高频能量以便在真空室中产生放电、尤其用于等离子体产生的电路设备，所述电路设备具有：直流电压电源（13），所述直流电压电源（13）提供直流电压（Ucc）；升压转换器开关电路（16），所述升压转换器开关电路包含由电感（18）和可控制的开关（19）组成的串联电路，其中，所述电感（18）连接在所述直流电压电源（13）的一极（21）和所述开关（19）的第一电极（D）之间，其中，所述开关（19）的第二电极（S）接地，并且其中，所述开关（19）此外具有控制电极（G）；控制单元（17），所述控制单元被设置用于高频地控制所述开关（19），以便在所述开关（19）的第一电极（D）上产生具有周期性的、脉冲式输出电压（U_DS）的高频能量，所述输出电压的峰量值大于所述直流电压电源（13）的直流电压（Ucc）的量值，以及输出接头（24），所述输出接头（24）被确定用于在不中间连接阻抗匹配网络的情况下与真空室（2）的电极（8）直接连接并且与所述开关（19）的第一电极（D）连接，以便施加具有所述输出电压（U_DS）的高频能量到所述真空室（2）上。