[发明专利]化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法在审
申请号: | 201780045244.3 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN109476575A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 越后雅敏 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C07C43/215 | 分类号: | C07C43/215;C07C39/15;C07C43/20;C07C43/205;C07D311/78;C07D311/82;C08F12/22;C08G8/04;C08G8/20;C08G8/36;G03F7/031;G03F7/11;G03F7/26 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
下述式(0)所示的化合物。(0)(RY:氢原子、碳数1~30的烷基或碳数6~30的芳基,RZ:碳数1~60的N价的基团或单键、RT:任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基、羟基或羟基的氢原子被含乙烯基苯基甲基的基团所取代的基团(烷基、芳基、烯基、烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键),RT的至少1个为羟基的氢原子被含乙烯基苯基甲基的基团所取代的基团。X:氧原子、硫原子或为无桥接,m:0~9的整数(至少1个为1~9的整数),N:1~4的整数,r:0~2的整数)。 |
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搜索关键词: | 碳数 烷基 氢原子 芳基 羟基 乙烯基苯基甲基 烷氧基 烯基 氨基 电路图案 抗蚀图案 卤素原子 硫原子 氧原子 羧酸基 树脂 单键 醚键 桥接 酮键 硝基 巯基 酯键 | ||
【主权项】:
1.一种下述式(0)所示的化合物,
式(0)中,RY为氢原子、碳数1~30的烷基或碳数6~30的芳基,RZ为碳数1~60的N价的基团或单键,RT各自独立地为任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基、羟基或羟基的氢原子被含乙烯基苯基甲基的基团所取代的基团,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键,此处,RT的至少1个为羟基的氢原子被含乙烯基苯基甲基的基团所取代的基团,X表示氧原子、硫原子或为无桥接,m各自独立地为0~9的整数,此处,m的至少1个为1~9的整数,N为1~4的整数,N为2以上的整数时,N个[]内的结构式任选相同或不同,r各自独立地为0~2的整数。
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