[发明专利]阀、气体控制装置

摘要

阀具备第一板、侧壁板、第二板和第三板。第一板具有多个第一通气孔。第二板与第一板、侧壁板一起构成阀室。第二板具备与第一板的第一主面对置的第二主面。第二板具有多个第二通气孔。第三板具有多个第三通气孔。在沿第一板与第二板对置的方向俯视时，多个第三通气孔不与多个第二通气孔重叠而与多个第一通气孔重叠。第三板的两主面与第一板的第一主面、第二板的第二主面对置。第三板设置于阀室。在沿第一板与第二板对置的方向俯视时，第二通气孔的外周和与上述第二通气孔最为接近的第三通气孔的外周具有适配的对置缘，对置缘的第二通气孔与第三通气孔间的距离为第二通气孔的外周与第三通气孔的外周间的最短距离的1.2倍以下。

主权项

1.一种阀，其特征在于，具备：第1板，其具有多个第1通气孔；侧壁板；第2板，其具备与所述第1板的第1主面对置的第2主面，具有多个第2通气孔，且与所述第1板、侧壁板一起构成阀室；和第3板，其具有在沿所述第1板与所述第2板对置的方向俯视时不与所述多个第2通气孔重叠而与所述多个第1通气孔重叠的多个第3通气孔，两主面与所述第1主面、所述第2主面对置，且设置于所述阀室，在沿所述第1板与所述第2板对置的方向俯视时，规定的所述第2通气孔的外周和与所述第2通气孔最为接近的规定的所述第3通气孔的外周具有适配的对置缘，规定的所述第2通气孔与规定的所述第3通气孔间的在所述对置缘处的距离为规定的所述第2通气孔的外周与规定的所述第3通气孔的外周间的最短距离的1.2倍以下。