[发明专利]纳迪克酸酐聚合物及由其衍生的感光性组合物在审
申请号: | 201780046385.7 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN109476948A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | B·卡纳普;C·伯恩斯 | 申请(专利权)人: | 普罗米鲁斯有限责任公司 |
主分类号: | C09D145/00 | 分类号: | C09D145/00;C08F232/08;G03F7/039;G03F7/16 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;邹亮 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了各种乙烯加成纳迪克酸酐的聚合物。本发明的聚合物的实施例包括共聚物、纳迪克酸酐的三聚体及各种降冰片烯型单体。纳迪克酸酐聚合物可用于形成各种正型和负型感光性组合物,所述组合物能够形成显示优异的介电性能(低k)和热性能的高分辨率成像膜,因此可用于制造各种微电子器件和光电子器件等。 | ||
搜索关键词: | 酸酐聚合物 聚合物 可用 负型感光性组合物 降冰片烯型单体 感光性组合物 高分辨率成像 光电子器件 微电子器件 介电性能 共聚物 热性能 三聚体 加成 正型 乙烯 制造 | ||
【主权项】:
1.一种聚合物,其包含:a)衍生自通式(I)的单体的通式(IA)的第一重复单元:其中表示与另一重复单元发生键合的部位;n是0至3的整数;X和X’相同或不同,且各自独立地选自CH2、CH2‑CH2、O及S,其中CH2或CH2‑CH2任选被(C1‑C6)烷基取代;R和R’相同或不同,且各自独立地选自氢和(C1‑C6)烷基;b)衍生自通式(II)的单体的通式(IIA)的第二重复单元:其中表示与另一重复单元发生键合的部位;n是0至3的整数;Y和Y’相同或不同,且各自独立地选自CH2、CH2‑CH2、O及S;R1、R2、R3及R4中的至少一个选自通式(A)的单价基团和通式(B)的单价基团:‑(CH2)a‑L‑C(CF3)2‑OH(B)其中a是0至3的整数;b为1至4的整数;c是1至4的整数;L选自化学键、O及S;R5选自氢、甲基、乙基、氟化或全氟化甲基或乙基、直链或支链经取代或未经取代的(C3‑C12)烷基、经取代或未经取代的(C3‑C8)环烷基、经取代或未经取代的(C1‑C12)烷基(C3‑C8)环烷基、经取代或未经取代的(C6‑C10)芳基、经取代或未经取代的(C1‑C12)烷基(C6‑C10)芳基、经取代或未经取代的(C2‑C12)酰基及经取代或未经取代的(C7‑C11)芳酰基;余下的R1、R2、R3及R4相同或不同,且各自独立地选自包括如下的组:氢、卤素、甲基、乙基、氟化或全氟化甲基或乙基、直链或支链经取代或未经取代的(C3‑C12)烷基、经取代或未经取代的(C1‑C6)烷氧基、经取代或未经取代的(C3‑C8)环烷基、经取代或未经取代的(C7‑C12)双环烷基及经取代或未经取代的(C7‑C12)三环烷基、经取代或未经取代的(C1‑C12)烷基(C3‑C8)环烷基、经取代或未经取代的(C6‑C10)芳基及经取代或未经取代的(C1‑C12)烷基(C6‑C16)芳基,其中所述取代基选自卤素、羟基、(C1‑C6)烷基、(C1‑C6)烷氧基、(C2‑C6)烯基、(C3‑C8)环烷基、(C7‑C12)双环烷基、(C1‑C6)烷氧基(C3‑C6)烷基、(C1‑C6)烷氧基(C3‑C8)环烷基及(C1‑C6)烷氧基(C7‑C12)双环烷基。
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