[发明专利]用于电解镀铜的酸性水性组合物

摘要

本发明涉及一种具有以下给出的定义的用于电解镀铜(铜的电解沉积)的酸性水性组合物(电镀浴)，所述组合物包含：(i)铜(II)离子，(ii)一种或多于一种式(Ia)化合物，(iii)一种、两种、三种或多于三种其它化合物，其与所述式(Ia)化合物不同，根据本发明的酸性水性组合物用于电解镀铜的用途、酸性水性组合物中的所述式(Ia)化合物用于电解镀金属的用途、一种使用根据本发明的酸性水性组合物电解镀铜的方法和用于电解镀金属的酸性水性组合物的衍生自式(Ia)的特定化合物。

主权项

1.一种用于电解镀铜的酸性水性组合物，所述组合物包含：(i)铜(II)离子，(ii)一种或多于一种式(Ia)化合物其中‑R⁴和R⁵独立地选自由以下组成的群组：氢、甲基、乙基、直链C3到C16烷基、支链C3到C16烷基和式(IIa)的部分‑R¹、R²、R³和R⁶独立地选自由氢、甲基和乙基组成的群组，‑B¹、B²、B³、D¹、D²和D³独立地选自由O和NH组成的群组，‑A¹、A²和A³独立地是指选自由以下组成的群组的部分：‑氢、甲基、乙基、直链C3到C16烷基和支链C3到C16烷基、‑其中R⁷和R⁸独立地选自由以下组成的群组：氢、甲基、乙基、直链C3到C10烷基和支链C3到C10烷基，和‑其限制条件是‑A¹、A²和A³中的至少一者是选自由以下组成的群组的部分：且‑如果对应x、y和z是1，那么A¹、A²和A³中的所述至少一者的所述对应B¹、B²和B³是O，‑a、b和c独立地是0、1、2或3，‑s、x、y和z独立地是0或1，‑n独立地是1、2或3，‑o+p+q+t＝5到300，和(iii)一种、两种、三种或多于三种其它化合物，其与所述式(Ia)化合物不同，且其中所述组合物的pH值是3或更低。