[发明专利]膜组件和颗粒捕集器有效
| 申请号： | 201780046859.8 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109564394B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | R·P·奥尔布赖特;L·L·贝克;D·N·伯班克 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 颗粒捕集器组件配置成减少具有较大范围的尺寸、材料、行进速度和入射角的污染物颗粒到达颗粒敏感环境的可能性。所述颗粒捕集器可以是位于光刻设备的静止零件与可移动零件之间的间隙几何颗粒捕集器。所述颗粒捕集器也可以是位于光刻或量测设备中的颗粒敏感环境的表面上的表面几何颗粒捕集器。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 颗粒 捕集器 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成装置，包括：所述图案形成装置的第一结构，具有第一表面；所述图案形成装置的第二结构，具有第二表面，其中所述第一表面与所述第二表面彼此相对；和捕集器，所述捕集器形成于所述第一表面上且与所述第二表面相对，所述捕集器包括多个挡板，其中在相对的所述第一表面与所述第二表面之间形成间隙。
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