[发明专利]压力传感器模块有效
| 申请号： | 201780046895.4 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109642840B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 罗埃尔·达阿曼;凯拉什·维贾亚库马尔;昂德里克·布曼;瑞曼科·亨里克斯·威廉姆斯·皮内伯格;特万·范·利彭 | 申请（专利权）人： | AMS有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 奥地利普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器模块(10)包括围绕底部电极(15)的至少一部分的基电极(14)和基电极(14)之上的锚装置(20)，该锚装置(20)包括至少两个导电壁(19)，该至少两个导电壁(19)都围绕底部电极(15)的至少一部分。压力传感器模块(10)还包括至少覆盖底部电极(15)和锚装置(20)的导电层(18)，使得在底部电极(15)、锚装置(20)和导电层(18)之间形成空腔(17)。导电壁(19)在与底部电极(15)的平面平行的平面中的横截面中的比例面积等于或小于10％，其中所述横截面从锚装置(20)的内壁的面向空腔(17)的表面(32)延伸到锚装置(20)的最外壁的背离空腔(17)的表面(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 模块 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器模块(10)，包括：‑基电极(14)，其围绕底部电极(15)的至少一部分，‑在基电极(14)之上的锚装置(20)，所述锚装置(20)包括至少两个导电壁(19)，所述至少两个导电壁(19)都围绕底部电极(15)的至少一部分，‑导电层(18)，其至少覆盖底部电极(15)和锚装置(20)，使得在底部电极(15)、锚装置(20)和导电层(18)之间形成空腔(17)，并且‑其中，导电壁(19)在与底部电极(15)的平面平行的平面中的横截面中的比例面积等于或小于10％，其中所述横截面从锚装置(20)的内壁的面向空腔(17)的表面(32)延伸到锚装置(20)的最外壁的背离空腔(17)的表面(33)。
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