[发明专利]模块式微波等离子体源有效
| 申请号： | 201780047022.5 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109564843B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·艾伦·克劳斯;蔡泰正 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 实施方式包括模块式微波源。在一个实施方式中，模块式微波源包括电压控制电路、电压控制振荡器，其中来自该电压控制电路的输出电压驱动电压控制振荡器中的振荡。模块式微波源也可包括耦接至电压控制振荡器的固态微波放大模块。在一个实施方式中，固态微波放大模块将来自电压控制振荡器的输出放大。模块式微波源也可包括耦接至该固态微波放大模块的施加器(applicator)，其中施加器是介电谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 式微 等离子体 | ||
【主权项】：
1.一种模块式微波源，包括：电压控制电路；电压控制振荡器，其中来自所述电压控制电路的输出电压驱动所述电压控制振荡器中的振荡；固态微波放大模块，所述固态微波放大模块耦接所述电压控制振荡器，其中所述固态微波放大模块将来自所述电压控制振荡器的输出放大；及施加器(applicator)，所述施加器耦接至所述固态微波放大模块，其中所述施加器是介电谐振器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780047022.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：X射线单元
- 下一篇：具有可调喷头与可调衬垫的工艺腔室
