[发明专利]接触板、对位系统和蒸镀装置在审
| 申请号： | 201780047314.9 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN109563611A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 李欣 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种接触板、对位系统和蒸镀系统。对位系统包括接触板和蒸镀磁板，用于对位掩膜和基板。接触板包括多个设置在安装板上且呈阵列排布的间隔柱组件和传感部件。间隔柱组件用于分散蒸镀磁板下压时作用于基板的力量，防止基板形变；传感部件用于检测每个间隔柱组件的受力情况，受力情况用于分析基板的受力情况以控制蒸镀磁板改变磁场分布，从而使基板受力均匀。两者互相配合能使基板与掩膜对位准确，有效防止混色现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 接触板 基板 对位系统 间隔柱 磁板 受力 蒸镀 传感部件 对位 掩膜 磁场分布 分析基板 混色现象 基板形变 受力均匀 阵列排布 蒸镀系统 蒸镀装置 安装板 下压 检测 配合 力量 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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