[发明专利]二氮杂二烯络合物与胺的反应

摘要

一种在基材上形成薄膜的方法，该方法包括使前体化合物与路易斯碱反应的步骤。前体化合物具有过渡金属，并提供一种或多种烷基‑1,3‑二氮杂丁二烯配体。

主权项

1.一种用于在基材的表面上沉积涂层的方法，所述方法包括：a)使所述基材与具有式I的含金属的化合物的蒸气接触，以在所述基材上形成经改性的表面：或其自由基；其中：M是过渡金属、第1族金属、第2族金属、Zn或Cd；m是整数；n是M的形式电荷；o是使所述具有式I的含金属的化合物的总体形式电荷为0的整数；p是括号内配体的形式电荷；R1是C1‑12烷基、氨基、C6‑18芳基或Si(R3)4；R2、R3各自独立地为H、C1‑10烷基、C6‑18芳基、氨基、C1‑12烷基氨基或C2‑24二烷基氨基；并且R4是H、C1‑10烷基或C1‑18芳基；以及b)使所述经改性的表面与路易斯碱的蒸气接触，以在所述基材的所述表面上形成所述涂层的至少一部分。