[发明专利]蒸镀用金属掩模、蒸镀用金属掩模的制造方法以及显示装置的制造方法

摘要

蒸镀用金属掩模具备包括多个掩模孔的掩模区域，位于掩模区域的中央以外的位置的各掩模孔的连接部具有遍及掩模孔的整周地朝向掩模孔的内侧突出的形状，该连接部由作为靠近掩模区域的中央的部分的第1部分和作为靠近掩模区域的端部的部分的第2部分构成。第1部分与掩模区域的背面之间的距离是第1台阶高度，端部区域中的第1台阶高度比中央区域中的第1台阶高度小。

主权项

1.一种蒸镀用金属掩模，其特征在于，具备包括多个掩模孔的掩模区域，上述掩模区域具备中央区域和端部区域，上述中央区域包括上述掩模区域的中央，并且包括用来与蒸镀源对置的多个上述掩模孔，上述端部区域位于比上述中央区域更靠上述掩模区域的端部侧，并且包括与上述中央区域中包括的上述掩模孔不同的多个上述掩模孔，上述掩模区域具备：表面，包含各上述掩模孔的大开口；以及背面，包含各上述掩模孔的小开口，各上述掩模孔包括：大孔，包含上述大开口，具有朝向上述小开口而前端变细的形状；小孔，包含上述小开口，具有朝向上述大开口而前端变细的形状；以及连接部，将上述大孔与上述小孔连接，位于上述掩模区域的中央以外的位置的各上述连接部具有遍及上述掩模孔的整周地朝向上述掩模孔的内侧突出的形状，并且各上述连接部由第1部分和第2部分构成，上述第1部分是靠近上述掩模区域的中央的部分，上述第2部分是靠近上述掩模区域的端部的部分，上述第1部分与上述背面之间的距离是第1台阶高度，上述端部区域中的上述第1台阶高度比上述中央区域中的上述第1台阶高度小。