[发明专利]抛光垫的凹部形成方法以及抛光垫有效
| 申请号： | 201780048120.0 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN109562506B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 大石邦晴;海野达广 | 申请（专利权）人： | 株式会社大辉 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;霍玉娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | [课题]提供一种满足针对凹部的用户要求的高品质的抛光垫。[解决手段]首先，在作业面(2a)上配置夹具(6)，该夹具具有与将要在抛光垫(7)的表面上形成的凹部的形状对应的凸出形状。接下来，将抛光垫(7)配置在配置有夹具(6)的作业面(2a)上。然后，经由吸引孔(2b)从背面对抛光垫(7)进行吸引，在使以浮起的状态由夹具的突出部(6b)支承的抛光垫(7)弯曲的同时，沿厚度方向部分地去除与夹具(6)的凸出形状对应地隆起的表面。由此，在抛光垫(7)的表面形成凹部。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 形成 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫的凹部形成方法，其特征在于，该方法具备第一步骤和第二步骤，在所述第一步骤中，在作业面上配置所述抛光垫，在所述作业面上设置有与将要在抛光垫所具备的研磨层的表面上形成的凹状图案对应的凸状图案，在所述第二步骤中，在对所述抛光垫施加外力以使所述抛光垫弯曲的同时，沿厚度方向部分地去除与所述作业面上的凸状图案对应地隆起的所述研磨层的表面，由此在所述研磨层的表面形成所述凹部。
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