[发明专利]使用电场将压电层从供体基板分离有效
| 申请号： | 201780048417.7 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109564967B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | C·查尔斯-艾尔弗雷德 | 申请（专利权）人： | 索泰克公司 |
| 主分类号： | H01L41/312 | 分类号： | H01L41/312 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;李辉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种将压电层转移到支撑基板上的方法。还涉及一种用于执行所述方法的至少一部分的分离室。本发明的将压电层从供体基板分离到支撑基板上的方法包括以下步骤：a)在压电供体基板中提供预定分裂区域；b)将压电供体基板附接到支撑基板以形成复合结构；以及c)将压电层从压电供体基板分离，包括施加电场。通过使用该电场，与现有技术相比可在较低的温度下执行分离步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电场 压电 供体 分离 | ||
【主权项】：
1.一种将压电层转移到支撑基板上的方法，该方法包括以下步骤：a)在压电供体基板(3)中提供预定分裂区域(1)，b)将所述压电供体基板(3)附接到支撑基板(11)以形成复合结构(13)，以及c)将所述压电层(21)从所述压电供体基板(3)分离，包括施加电场(15)。
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