[发明专利]传感器装置有效
申请号: | 201780049881.8 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN109564108B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | A·格拉博夫斯基;C·瓦伦达 | 申请(专利权)人: | 物理仪器(PI)两合有限公司 |
主分类号: | G01D5/14 | 分类号: | G01D5/14;G01D5/347 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 俄旨淳 |
地址: | 德国卡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于检测关于能线性或旋转运动的物体的绝对位置的测量数据的一种传感器装置和一种方法,所述传感器装置包括:光学传感器系统,光学传感器系统为了进行位置测量仅利用零阶反射;以及磁传感器系统,磁传感器系统发出与所述能运动的物体的待确定位置相关的第二传感器输出信号,光学传感器系统和磁传感器系统的标尺集成在共同的标尺体中;计算单元,所述计算单元设定为用于获取第一传感器输出信号和第二传感器输出信号并由第一传感器输出信号和第二传感器输出信号生成共同的传感器输出信号,在任意时刻都能由磁传感器系统的第二传感器输出信号得出光学传感器系统的当前周期,以便基于第一和第二传感器输出信号计算出唯一的绝对位置信息。 | ||
搜索关键词: | 传感器 装置 | ||
【主权项】:
1.用于检测关于能线性或旋转运动的物体的绝对位置的测量数据的传感器装置,包括:‑光学传感器系统,所述光学传感器系统具有测量单元(102)和与测量单元(102)配合作用的标尺(220),所述光学传感器系统为了进行位置测量仅利用零阶反射,并且光学传感器系统发出与所述能运动的物体的待确定位置相关的第一传感器输出信号,和‑磁传感器系统,所述磁传感器系统具有测量单元(101)和与测量单元配合作用的标尺(203),所述磁传感器系统发出与所述能运动的物体的待确定位置相关的第二传感器输出信号,光学传感器系统的标尺(220)和磁传感器系统的标尺(203)集成在共同的标尺体(210)中,并且光学传感器系统的测量单元(102)和磁传感器系统的测量单元(101)朝向所述标尺体(210)的表面,光学传感器系统的标尺(220)和/或磁传感器系统的标尺(203)设置在所述表面上,并且所述表面定义了测量表面,并且光学传感器系统具有比磁传感器更高的分辨率,和,‑计算单元(105),所述计算单元设定为用于获取第一传感器输出信号(401)和第二传感器输出信号(402)并由所述第一传感器输出信号(401)和第二传感器输出信号(402)生成共同的传感器输出信号,在任意时刻都能由磁传感器系统的第二传感器输出信号(402)得出光学传感器系统的当前周期,以便基于第一和第二传感器输出信号计算出唯一的绝对位置信息,其中,磁传感器系统的精度小于光学传感器系统的信号周期。
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