[发明专利]等离子体设备和等离子体处理方法有效
| 申请号： | 201780050105.X | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109564987B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 叶江波;钱俊;肖禄 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种等离子体设备(10)。用于对OLED多层膜结构(20)的阳极层(21)进行等离子体处理。等离子体设备(10)包括间隔设置的多个腔室(12)、与多个腔室(12)连接的导气管(14)、以及分别与多个腔室(12)对应连接的多个调节模块(16)。多个腔室(12)用于处理从导气管(14)进入的气体以产生等离子体并将等离子体排出。多个调节模块(16)用于分别调节多个腔室(12)产生的等离子体的浓度。一种等离子体处理方法。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 设备 处理 方法 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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