[发明专利]成膜设备及成膜方法在审
| 申请号： | 201780050854.2 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN109642314A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘启富 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种成膜设备及成膜方法。所述成膜设备(10)包括机台(11)，所述机台(11)上并排设有至少两个材料容器(14,16)及至少两个次级驱动装置(13,15)；每个所述材料容器(14,16)上并排间隔设有多个喷涂部(141,161)；一个所述次级驱动装置(13,15)与一个所述材料容器(14,16)对应相连，用于驱动所述材料容器(14,16)转动。所述成膜方法包括：在基板(100)上形成第一薄膜；确定所述第一薄膜的各个位置的膜厚；根据所确定的结果，在所述第一薄膜上形成第二薄膜，使得所述第二薄膜与所述第一薄膜叠加之后的膜层的各个位置的膜厚一致。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 材料容器 成膜设备 成膜 机台 次级驱动装置 膜厚 喷涂部 基板 膜层 叠加 转动 驱动 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市柔宇科技有限公司，未经深圳市柔宇科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780050854.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
