[发明专利]制造用于安全装置的图像图案的方法

摘要

公开了一种制造用于安全装置的图像图案的方法。所述方法包括：(a)提供一个金属化的衬底，所述金属化的衬底包括一种衬底材料，在所述衬底材料的第一表面上具有第一金属层，所述第一金属层在第一蚀刻剂物质中可溶；(b)将第一抗蚀剂层施加到所述第一金属层，所述第一抗蚀剂层包括一种抗蚀剂材料；(c)使所述第一抗蚀剂层与一个浮雕结构接触，所述浮雕结构包括一个支撑件，在所述支撑件上承载一个或多个突出部，所述一个或多个突出部各自远离所述支撑件延伸到一个远侧尖端，于是所述突出部中的至少一个延伸到所述第一抗蚀剂层中；(d)当所述第一抗蚀剂层和所述浮雕结构接触时，控制所述金属化的衬底和/或所述浮雕结构，以实现所述金属化的衬底和至少所述突出部中的至少一个突出部的尖端之间沿着一个移动方向的相对移动，使得延伸到所述第一抗蚀剂层中的所述突出部中的至少一个突出部将所述抗蚀剂材料的对应的至少一部分从所述金属化的衬底的对应的至少一个区域排出；(e)使所述第一抗蚀剂层与所述浮雕结构分离，使得从所述第一抗蚀剂层移除所述突出部中的至少一个突出部，留下位于所述至少一个区域外部保留在所述金属化的衬底上的抗蚀剂材料，从而形成具有存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第一图案元件以及对应于所述至少一个区域且基本上不存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第二图案元件的图案；以及(f)将所述第一蚀刻剂物质施加到所述金属化的衬底，于是所述第一金属层的第二图案元件被溶解，所述第一金属层的保留的第一图案元件形成一个图像图案。

主权项

1.一种制造用于安全装置的图像图案的方法，所述方法包括：(a)提供一个金属化的衬底，所述金属化的衬底包括一种衬底材料，在所述衬底材料的第一表面上具有第一金属层，所述第一金属层在第一蚀刻剂物质中可溶；(b)将第一抗蚀剂层施加到所述第一金属层，所述第一抗蚀剂层包括一种抗蚀剂材料；(c)使所述第一抗蚀剂层与一个浮雕结构接触，所述浮雕结构包括一个支撑件，在所述支撑件上承载一个或多个突出部，所述一个或多个突出部各自远离所述支撑件而延伸到一个远侧尖端，于是所述突出部中的至少一个延伸到所述第一抗蚀剂层中；(d)当所述第一抗蚀剂层和所述浮雕结构接触时，控制所述金属化的衬底和/或所述浮雕结构，以实现在所述金属化的衬底和至少所述突出部中的至少一个突出部的尖端之间沿着一个移动方向的相对移动，使得延伸到所述第一抗蚀剂层中的所述突出部中的至少一个突出部将所述抗蚀剂材料的对应的至少一部分从所述金属化的衬底的对应的至少一个区域排出；(e)使所述第一抗蚀剂层与所述浮雕结构分离，以使得从所述第一抗蚀剂层移除所述突出部中的至少一个突出部，留下位于所述至少一个区域外部保留在所述金属化的衬底上的抗蚀剂材料，从而形成具有存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第一图案元件以及对应于所述至少一个区域且基本上不存在所述抗蚀剂材料的一个或多个第二图案元件的图案；以及(f)将所述第一蚀刻剂物质施加到所述金属化的衬底，于是所述第一金属层的第二图案元件被溶解，所述第一金属层的保留的第一图案元件形成一个图像图案。