[发明专利]半导体装置

摘要

半导体装置具备固定电极(11)、可动电极(12)以及弹性支承体(13)。可动电极与固定电极的主面(11b)对置，沿着主面能够相对于固定电极相对移动。弹性支承体将可动电极以能够在伸缩方向上移动的方式支承。固定电极和可动电极中的一方是驻极体电极。固定电极以及可动电极在伸缩方向上周期性地形成有多个电极部。构成固定电极以及可动电极的电极部的形成周期，比从可动电极静止的状态到弹性支承体压缩最大的状态为止的可动电极的移动距离的2倍小。在可动电极静止的状态中，将主面主视时，可动电极配置在固定电极与可动电极不重叠的位置。在可动电极振动的状态中，出现固定电极与可动电极重叠的状态。

主权项

1.一种半导体装置，具备：固定电极(11)；可动电极(12)，与上述固定电极的主面(11b)对置，沿着上述主面能够相对于上述固定电极相对地移动；以及弹性支承体(13)，将上述可动电极以能够在伸缩方向上移动的方式支承；上述固定电极和上述可动电极中的某一方为驻极体电极，上述固定电极以及上述可动电极通过在上述伸缩方向上周期性地形成多个电极部而构成；构成上述固定电极以及上述可动电极的电极部的形成周期，比从上述可动电极静止的状态到上述弹性支承体压缩最大的状态为止的上述可动电极的移动距离的2倍小；在上述可动电极静止的状态中，将上述主面主视时，上述可动电极配置在上述固定电极与上述可动电极不重叠的位置；在上述可动电极振动的状态中，出现上述固定电极与上述可动电极重叠的状态。