[发明专利]卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置

摘要

本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置，其具有：2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其以设置于与所述2个罐状辊的外周面对向的位置的磁控溅镀阴极为代表；且所述2个罐状辊中、除位于最上游侧的第1罐状辊以外的第2罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。

主权项

1.一种卷对卷方式的表面处理装置，其具有：至少2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其设置于与上述罐状辊的外周面对向的位置；其特征在于：上述至少2个罐状辊中，除位于最上游侧的罐状辊以外的至少1个罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。