[发明专利]用于真空腔室的门密封件有效
| 申请号： | 201780051762.6 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109643629B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 约翰·M·怀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述具有可充气狭缝阀开口密封件的真空腔室。在一个示例中，一种真空腔室包括腔室主体、第一可充气密封件和第一狭缝阀门。所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁。第一狭缝阀开口形成在所述侧壁中。所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口。所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 密封件 | ||
【主权项】：
1.一种真空腔室，包括：腔室主体，所述腔室主体具有顶部、底部和侧壁，所述侧壁具有至少形成在其中的第一狭缝阀开口；第一可充气密封件，所述第一可充气密封件密封地耦接至所述侧壁并包围所述第一狭缝阀开口；和第一狭缝阀门，所述第一狭缝阀门可在接触所述第一可充气密封件以在所述第一狭缝阀门与所述腔室主体之间提供真空密封的关闭状态与使所述第一狭缝阀门脱离所述第一狭缝阀开口的打开状态之间移动，所述第一可充气密封件具有耦接至所述侧壁的基部和在所述第一狭缝阀门处于所述关闭状态时可相对于所述基部侧向地移动的中空管状部分。
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