[发明专利]照明光学系统、光刻装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 201780051936.9 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109643069B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 须田广美 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/00;G02B19/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种使用来自光源的光对被照明面进行照明的照明光学系统。照明光学系统具有：光学积分器，配置在光源与被照明面之间；和光学滤波器，具有调整入射至光学积分器的光的强度的调整部。光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器。照明光学系统通过变更与该照明光学系统的光轴垂直的方向上的调整部的位置来变更被照明面中的照度。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 光刻 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：光学积分器，配置在所述光源与所述被照明面之间；和光学滤波器，具有对入射至所述光学积分器的光的强度进行调整的调整部，所述光学积分器是使入射的光在内表面反射的棒型光学积分器，所述光学滤波器包括：多个第一区域，在所述棒型光学积分器的射出端面形成相互相同朝向的像；和多个第二区域，在所述射出端面形成相对于所述像具有镜像的关系的像，所述调整部至少设置于所述第一区域，通过变更与所述照明光学系统的光轴垂直的方向上的所述调整部的位置来变更所述被照明面中的照度。
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