[发明专利]模块化紫外线脉冲激光源有效
| 申请号： | 201780052222.X | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN109997075B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | R·克纳佩 | 申请（专利权）人： | 相干凯撒斯劳滕有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 郑洪成 |
| 地址： | 德国凯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
用于产生用于材料加工的紫外(UV)脉冲激光辐射的装置(10)包括提供红外(IR)脉冲激光辐射的激光源(20)和频率转换模块(28)。位于频率转换模块(28)内的四硼酸锂(Li2B |
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| 搜索关键词： | 模块化 紫外线 脉冲 激光 | ||
【主权项】：
1.产生紫外脉冲激光辐射的装置，包括：激光源，产生脉冲激光辐射束，所述脉冲激光辐射的脉冲持续时间在约100飞秒与约200皮秒之间；频率转换模块，该频率转换模块具有气密密封的封闭的内部容积；光纤，用于将脉冲激光辐射束从激光源传输到频率转换模块；以及四硼酸锂晶体，位于频率转换模块的封闭的内部空间内，所述四硼酸锂晶体被设置成拦截脉冲激光辐射束并由此产生紫外脉冲激光辐射束。
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