[发明专利]距离传感器及距离图像传感器

摘要

距离传感器具备硅基板和传送电极。硅基板具备相互相对的第一主面和第二主面。在硅基板的第一主面侧设置有根据入射光产生电荷的电荷产生区域和收集来自电荷产生区域的电荷的电荷收集区域。传送电极在第一主面上配置于电荷产生区域和电荷收集区域之间。传送电极根据输入的信号使电荷从电荷产生区域流入电荷收集区域。在第二主面的至少与电荷产生区域对应的区域形成有多个凸部。多个凸部具有相对于硅基板的厚度方向倾斜的斜面。在凸部中硅基板的(111)面作为斜面露出。凸部的高度为200nm以上。

主权项

1.一种距离传感器，其特征在于，具备：硅基板，其具有相互相对的第一主面和第二主面，并且在所述第一主面侧设置有根据入射光产生电荷的电荷产生区域和收集来自所述电荷产生区域的电荷的电荷收集区域；及传送电极，其在所述第一主面上，配置于所述电荷产生区域和所述电荷收集区域之间，根据输入的信号使电荷从所述电荷产生区域流入所述电荷收集区域，在所述第二主面的至少与所述电荷产生区域对应的区域形成有具有相对于所述硅基板的厚度方向倾斜的斜面的多个凸部，在所述凸部中，所述硅基板的(111)面作为所述斜面露出，所述凸部的高度为200nm以上。