[发明专利]用以涂布柔性基板的沉积设备、涂布柔性基板的方法及具有涂布的柔性基板在审
| 申请号： | 201780053270.0 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110100040A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多夫·卡森;斯蒂芬·海因;赖纳·库克拉;尼尔·莫里森;托马斯·德皮施;斯特凡·劳伦兹;埃德加·海波科恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述一种用以涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。沉积设备包含容纳存储线轴(112)的第一线轴腔室(110)、布置于第一线轴腔室(110)的下游的沉积腔室(120)、以及布置于沉积腔室(120)的下游且容纳卷绕线轴(152)的第二线轴腔室(150)，存储线轴(112)用以提供柔性基板(10)，卷绕线轴(152)用以在沉积后使柔性基板(10)卷绕于其上。沉积腔室(120)包含用以导引柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)，多个沉积单元(121)包含具有石墨靶(125)的至少一个沉积单元(124)。涂布滚筒连接至用以施加电位至涂布滚筒的装置(140)。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积单元 沉积腔室 沉积设备 柔性基板 涂布滚筒 涂布柔性 基板 腔室 线轴 存储线轴 卷绕线轴 电位 容纳 石墨靶 导引 卷绕 沉积 施加 | ||
【主权项】：
1.一种用以涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)，包含：第一线轴腔室(110)，容纳用以提供所述柔性基板(10)的存储线轴(112)；沉积腔室(120)，布置于所述第一线轴腔室(110)的下游；和第二线轴腔室(150)，布置于所述沉积腔室(120)的下游，且所述第二线轴腔室(150)容纳卷绕线轴(152)，所述卷绕线轴(152)用以在沉积后使所述柔性基板(10)卷绕于其上，所述沉积腔室(120)包含用以导引所述柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)，所述多个沉积单元(121)包含具有石墨靶(125)的至少一个沉积单元(124)，所述涂布滚筒连接至用以施加电位至所述涂布滚筒的装置(140)。
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