[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201780053481.4 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109690272B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 滩秀明;森田淳平 | 申请（专利权）人： | 日写株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器，其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个独立电极(31)、多个薄膜晶体管(33)和压敏层(11)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个独立电极(31)与公共电极(9)对向地设置成矩阵状。多个薄膜晶体管(30)与多个独立电极(31)对应地设置在多个独立电极(31)的与公共电极(9)相反的一侧，一个或者相邻的两个以上的薄膜晶体管(30)与一个独立电极(31)连接。压敏层(11)被层叠在公共电极(9)的多个独立电极(31)侧的面上。多个独立电极(31)包括第一电极(31X)和第二电极(31Y)，该第二电极(31Y)比第一电极(31X)厚因而与压敏层(11)的间隙比第一电极(31X)短。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：公共电极，所述公共电极在一个面上扩展而形成；多个独立电极，所述多个独立电极与所述公共电极对向地设置成矩阵状；多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管与所述多个独立电极对应地设置在所述多个独立电极的与所述公共电极相反的一侧，一个或者相邻的两个以上的所述薄膜晶体管与一个独立电极连接；以及公共压敏层，所述公共压敏层被层叠于所述公共电极的所述多个独立电极侧的面，所述多个独立电极包括第一电极和第二电极，所述第二电极比所述第一电极厚因而与所述公共压敏层的间隙比所述第一电极短。
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