[发明专利]测量方法和设备

摘要

描述了一种用于使用机床和扫描探针(4)来测量物体(6；62)的方法。沿扫描路径(70)相对于物体驱动扫描探针(4)，同时扫描探针(4)获取探针数据，该探针数据描述物体(6；62)的表面上相对于扫描探针(4)的一系列位置。扫描路径(70)至少包括第一扫描路径区段(78)，该第一扫描路径区段用于产生可以被分析以测量物体(6；62)的探针数据。扫描路径(70)还被布置以将多个可识别的探针运动(76)赋予扫描探针(4)，该多个可识别的探针运动可以从所获取的探针数据(90，92)中单独地识别。使用每个可识别的探针运动(76)来界定时间标记。这允许将探针数据结合至围绕扫描路径(70)的受命令的或标称位置。

主权项

1.一种用于使用包括扫描探针的机床设备来测量物体的方法，所述方法包括沿着扫描路径相对于所述物体来驱动所述扫描探针的同时，所述扫描探针获取探针数据，所述探针数据用于描述所述物体的表面上相对于所述扫描探针的一系列位置，所述扫描路径至少包括第一扫描路径区段，所述第一扫描路径区段用于产生探针数据，所述探测数据可被分析以测量所述物体，其特征在于，所述扫描路径还被布置以将多个可识别的探针运动赋予所述扫描探针，所述多个可识别的探针运动可从经获取的探针数据单独地识别，每个可识别的探针运动用于界定时间标记。