[发明专利]湿度传感器有效
| 申请号： | 201780055964.8 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN109690302B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 中根健智 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 湿度传感器具有：形成于基板上的下部电极；覆盖上述下部电极的第一湿敏膜；形成于上述第一湿敏膜之上并具有由多个开口部形成的预定的开口图案的上部电极；以及覆盖上述上部电极的第二湿敏膜，上述第二湿敏膜通过上述上部电极的上述开口部与上述第一湿敏膜连接。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种湿度传感器，其特征在于，具有：形成于基板上的下部电极；覆盖上述下部电极的第一湿敏膜；形成于上述第一湿敏膜之上并具有由多个开口部形成的预定的开口图案的上部电极；以及覆盖上述上部电极的第二湿敏膜，上述第二湿敏膜在上述上部电极的上述开口部与上述第一湿敏膜连接。
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