[发明专利]台阶大小及镀金属厚度的光学测量有效
| 申请号： | 201780056846.9 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109791038B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | J·J·徐;R·苏塔耳曼;B·哈托诺 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/04;G01B11/24;G06T1/00;G06T7/60 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种产生三维信息的方法包含：按经预先确定的步骤变更样本与光学显微镜的物镜之间的距离；在每一经预先确定的步骤处捕获图像；确定每一经捕获图像中的每一像素的特性值；针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性值；比较每一经捕获图像的所述最大特性值以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面；基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第一表面上的第一经捕获图像；基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第二表面上的第二经捕获图像；及确定所述第一表面与所述第二表面之间的第一距离。 | ||
| 搜索关键词： | 台阶 大小 镀金 厚度 光学 测量 | ||
【主权项】：
1.一种使用光学显微镜产生样本的三维3‑D信息的方法，所述方法包括：按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；在每一经预先确定的步骤处捕获图像，其中所述样本的第一表面及所述样本的第二表面在所述经捕获图像的每一者的视域内；确定每一经捕获图像中的每一像素的特性值；针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性值；比较每一经捕获图像的所述最大特性值以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面；基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第一表面上的第一经捕获图像；基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第二表面上的第二经捕获图像；及确定所述第一表面与所述第二表面之间的第一距离。
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