[发明专利]制造纳米结构化柱形轧辊的方法有效
| 申请号： | 201780057092.9 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN109790639B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·朱;丹尼尔·M·伦茨;卡尔·K·斯腾斯瓦德;戴维·J·塔尔诺夫斯基 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D17/00;H01L21/027;G03F7/00;B21B27/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;安翔 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种使柱形工具图案化的方法，其包括：提供压模，所述压模包括基部和在所述基部上的固态离子导体的层；将预定特征图案的负片施加到所述固态离子导体的主表面；提供具有金属表面的柱形工具，使所述金属表面定位在所述压模附近；以及在所述金属表面和阴极之间施加电场，同时抵靠所述金属表面以滚动线接触的方式移动所述压模，以便将所述预定特征图案赋予到所述金属表面上，其中所述阴极为所述基部或与所述基部相邻定位的导电元件。所述预定特征图案的所述正片可包括多个纳米级特征。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 纳米 结构 化柱形 轧辊 方法 | ||
【主权项】：
1.一种使柱形工具图案化的方法，包括：提供压模，所述压模包括基部和在所述基部上的固态离子导体的层；将预定特征图案的负片施加到所述固态离子导体的主表面；提供具有金属表面的柱形工具，使所述金属表面定位在所述压模附近；在所述金属表面和阴极之间施加电场，同时抵靠所述金属表面以滚动线接触的方式移动所述压模，以便将所述预定特征图案赋予到所述金属表面上，其中所述阴极为所述基部或与所述基部相邻定位的导电元件，并且进一步地，其中所述金属表面的一部分被氧化，从而产生金属离子和自由电子，另外，其中所述金属离子通过所述固态离子导体迁移到所述阴极，在所述阴极将它们还原，并且所述自由电子迁移到所述金属表面，从而将所述预定特征图案的正片赋予到所述金属表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于3M创新有限公司，未经3M创新有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780057092.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于电解镀铜的酸性水性组合物
- 下一篇：电化学扩展的材料和反应器及其制造方法
