[发明专利]可调式圆周静电夹盘

摘要

本发明提供一种用于夹持具有不同直径的工件的静电夹盘。设置与第一工件相关联的中央静电夹盘构件和与第二工件相关联的第一外围静电夹盘构件。升降器使第一外围静电夹盘构件相对于中央静电夹盘构件在缩回位置与伸出位置之间直移。在缩回位置，第一工件仅接触第一表面。在伸出位置，第二工件接触第一表面和第二表面。当第一外围静电夹盘构件处于缩回位置时，第一外围屏蔽大致屏蔽第二表面。能够添加附加的外围静电夹盘构件和外围屏蔽，以适应附加的工件直径。

主权项

1.一种静电夹盘系统，包括：扫描臂基座中央静电夹盘构件，其第一直径与第一工件的直径相关联，其中，所述中央静电夹盘构件可操作地耦接至所述扫描臂基座并且其第一表面配置成支撑并静电夹持所述第一工件；第一外围静电夹盘构件，其具有第一内径和第一外径，其中，所述第一外围静电夹盘构件可操作地耦接至所述扫描臂基座并且其第二表面配置成支撑第二工件的外围区域，其中，所述第二工件的直径大于所述第一工件的直径；升降器，其配置成使所述第一外围静电夹盘构件相对于所述中央静电夹盘构件沿着大致垂直于所述第一表面的轴线在缩回位置与伸出位置之间直移，其中，当所述第一外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时，所述第一表面凸出于所述第二表面，且其中，当所述第一外围静电夹盘构件处于所述伸出位置时，所述第一表面与所述第二表面大致共面；以及第一外围屏蔽，其配置成当所述第一外围静电夹盘构件处于所述缩回位置时驻留在所述第二表面上并屏蔽所述第二表面。