[发明专利]太阳能电池单元的制造方法在审
申请号: | 201780058117.7 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN109791954A | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 铃木快;大贺一彦;藤原雅宏;友松优衣 | 申请(专利权)人: | 石原化学株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 张轶楠;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种太阳能电池单元的制造方法,工序简单、量产性高并且不需要挥发性高的有机溶剂,环境负担小。太阳能电池单元的制造方法包括:印刷工序,通过印刷法将能够通过活性能量射线固化的液状树脂对半导体基板(1)的主面中的一部分区域涂覆成膜状,由液状树脂形成树脂层(5),该树脂层(5)具有能够形成具有开口部(2a)的绝缘层(2)的图案;固化工序,对树脂层(5)照射活性能量射线,使液状树脂固化,在半导体基板(1)的主面上形成由液状树脂的固化物构成的绝缘层(2);镀敷工序,在绝缘层(2)的开口部(2a)内通过镀敷法形成与通过开口部(2a)从绝缘层(2)露出的半导体基板(1)的露出面连接的电极(3);以及剥离工序,在镀敷工序中将电极(3)配置于绝缘层(2)的开口部(2a)内之后,从半导体基板(1)剥离绝缘层(2)。 | ||
搜索关键词: | 绝缘层 半导体基板 液状树脂 开口部 太阳能电池单元 树脂层 镀敷 电极 活性能量射线固化 制造 活性能量射线 剥离绝缘层 剥离工序 固化工序 环境负担 有机溶剂 挥发性 成膜状 固化物 量产性 露出面 印刷法 涂覆 主面 固化 照射 图案 印刷 配置 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池单元的制造方法,是制造具备半导体基板和与所述半导体基板连接的电极的太阳能电池单元的方法,包括:印刷工序,通过印刷法将能够通过活性能量射线固化的液状树脂对所述半导体基板的主面中的一部分区域涂覆成膜状,由所述液状树脂形成树脂层,所述树脂层具有能够形成具有开口部的绝缘层的图案;固化工序,对所述树脂层照射活性能量射线而使所述液状树脂固化,在所述半导体基板的主面上形成由所述液状树脂的固化物构成的所述绝缘层;镀敷工序,在所述绝缘层的所述开口部内通过镀敷法形成所述电极,所述电极与通过所述开口部从所述绝缘层露出的所述半导体基板的露出面连接;以及剥离工序,在所述镀敷工序中将所述电极配置于所述绝缘层的所述开口部内之后,将所述绝缘层从所述半导体基板剥离。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-04 .用作转换器件的
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