[发明专利]三维分层建模装置的电子束列、三维分层建模装置、以及三维分层建模方法有效
申请号: | 201780058136.X | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN109716480B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 滨口新一;菅谷慎二;高桥正幸;泷泽昌弘 | 申请(专利权)人: | 爱德万测试株式会社 |
主分类号: | H01J37/30 | 分类号: | H01J37/30;B33Y30/00;B22F3/105;B22F3/16;H01J37/06;H01J37/12;H01J37/147;H01J37/305;B33Y10/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 日本东京千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种三维分层建模装置,其使用多个不同线束形状的电子束同时照射粉末层的表面的大致相同范围。三维分层建模装置100的电子束列200具备:多个电子源20,包括具有各向异性线束产生部的电子源;线束形状变形元件30,使从电子源20输出的电子束在粉末层62的表面63中的线束形状变形。电子束列200具备的偏转器50使从多个电子源20中的每一个输出的电子束以大于通过偏转器50之前的电子束的线束间隔的距离进行偏转。由此,具备该电子束列200的三维分层建模装置100使用不同线束形状的多束电子束同时照射粉末层62的表面63的大致相同范围的同时,使粉末层62熔融凝固而形成三维构造物66。 | ||
搜索关键词: | 三维 分层 建模 装置 电子束 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于三维分层装置的电子束列,其特征在于,具有:第一电子源,输出加速到规定的加速电压的第一电子束;第二电子源,输出加速到规定的加速电压的第二电子束;第一线束形状变形元件,使所述第一电子束的横截面形状变形;第二线束形状变形元件,使所述第二电子束的横截面形状变形;电磁透镜,使所述第一电子束以及第二电子束会聚;偏转器,在比所述第一电子束和第二电子束之间的间隔更宽的可偏转范围内调整所述第一电子束以及第二电子束的照射位置。
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