[发明专利]用于工件处理的系统和方法有效
| 申请号： | 201780058499.3 | 申请日： | 2017-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN109716498B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨晓晅;瑞安·帕库尔斯基 | 申请（专利权）人： | 玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 崔晓光 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于处理工件例如半导体工件的系统和方法。一个示例实施例涉及一种用于处理多个工件的处理系统。等离子体处理系统可包括负荷固定室。负荷固定室可包括工件柱，该工件柱构造成以堆叠布置支撑多个工件。该系统还可包括至少两个处理室。至少两个处理室可以具有至少两个处理站。每个处理站可以具有用于在处理室中的处理期间支撑工件的工件支撑件。该系统还包括与负荷固定室和处理室工艺流程连通的传送室。传送室包括旋转式机器人。旋转式机器人可以构造成将多个工件从负荷固定室中的堆叠布置传送到至少两个处理站。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理多个工件的处理系统，所述处理系统包括：负荷固定室，所述负荷固定室包括工件柱，所述工件柱构造成以堆叠布置支撑多个工件；至少两个处理室，所述至少两个处理室具有至少两个处理站，每个处理站与用于在所述处理室中的处理进行期间支撑工件的工件支撑件相关联；和传送室，与所述负荷固定室和所述至少两个处理室工艺流程连通；其中所述传送室包括至少一个旋转式机器人，所述旋转式机器人包括至少一个构造成围绕轴线旋转的臂，所述旋转式机器人构造成将多个工件从所述负荷固定室中的所述工件柱传送到所述至少两个处理室中的所述至少两个处理站。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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