[发明专利]机械手臂、曝光机前单元和温度控制方法在审
| 申请号： | 201780058780.7 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109789568A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 黄顺宏;朱广飞 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种机械手臂(10)、曝光机前单元(1000)和温度控制方法。机械手臂(10)，用于曝光机前单元(1000)，曝光机前单元(1000)包括温度控制单元(200)和传送单元(100)，机械手臂(10)位于传送单元(100)内，机械手臂(10)包括：本体(12)和温度传感器(14)。本体(12)能够承托玻璃基板并将位于温度控制单元(200)内的玻璃基板传送至曝光机，温度传感器(14)设置于本体(12)上，用于监测传送单元(100)内的温度。该机械手臂(10)可使玻璃基板在传送过程中温度稳定，从而有效避免温度变化对曝光精度产生的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手臂 曝光机 传送单元 温度控制单元 温度传感器 玻璃基板 承托玻璃 传送过程 温度稳定 基板 传送 曝光 监测 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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