[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201780058902.2 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109791365B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙乳笋;王涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 方法 曝光 平板 显示器 制造 以及 元件 | ||
【主权项】：
1.一种移动体装置，其具备：第1移动体，保持物体，能往彼此交叉的第1及第2方向移动；第2移动体，其能往所述的第2方向移动；基准构件，于所述的第1及第2方向，作为所述的第1移动体的移动的基准；第1测量系统，通过设在所述的第1及第2移动体中的一方的第1读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第1方向的移动范围的第1格子区域，来取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息；第2测量系统，通过设在所述的第2移动体与所述的基准构件中的一方的第2读头、与设在另一方且具有所述的第1及第2方向的测量成分而能测量所述的第1移动体于所述的第2方向的移动范围的第2格子区域，来取得所述的第1移动体相对所述的基准构件的位置信息；以及控制系统，根据以所述的第1及第2测量系统取得的位置信息，控制相对所述的基准构件于所述的第1及第2方向的所述的第1移动体的位置；所述的第1测量系统，使所述的第1读头相对所述的第1格子区域一边往所述的第1方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息；所述的第2测量系统，使所述的第2读头相对所述的第2格子区域一边往所述的第2方向移动、一边照射测量光束以取得所述的第1移动体的位置信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780058902.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
