[发明专利]量测选配方案选择有效
| 申请号： | 201780059171.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109791367B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | K·布哈塔查里亚;A·J·登博夫;M·J·J·贾克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括：针对堆叠灵敏度和套刻灵敏度，评估用于对使用图案化工艺处理的量测目标进行测量的多个衬底测量选配方案，以及从多个衬底测量选配方案中选择堆叠灵敏度的值满足或越过阈值并且套刻灵敏度的值在距离套刻灵敏度的最大值或最小值的特定有限范围内的一个或多个衬底测量选配方案。 | ||
| 搜索关键词： | 选配 方案 选择 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：针对堆叠灵敏度和套刻灵敏度，评估用于对使用图案化工艺处理的量测目标进行测量的多个衬底测量选配方案；以及从所述多个衬底测量选配方案中选择所述堆叠灵敏度的值满足或越过阈值并且所述套刻灵敏度的值在距离所述套刻灵敏度的最大值或最小值的特定有限范围内的一个或多个衬底测量选配方案。
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