[发明专利]泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法有效
| 申请号： | 201780060013.X | 申请日： | 2017-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN109791086B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 川崎康司 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱瑞思 |
| 主分类号： | G01M3/00 | 分类号： | G01M3/00;B01D46/42;G01N15/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 熊传芳;苏卉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法，能够在无尘室内的过滤器的泄漏检查时，使用通常的泄漏检查装置，无需扫描机器人、大型的装置及附带工程等，因此费用负担较小且能够由较少的作业者进行准确的泄漏检查。具有投影装置，将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着过滤器的表面在相互正交的X‑Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式投影于无尘室内的过滤器的表面，作业者根据吸引点的运动而使吸引探测器进行扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检查 辅助 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种泄漏检查辅助装置，在作业室中进行过滤器的泄漏检查时使用，所述作业室在顶棚壁面或侧壁面设有一个或者多个所述过滤器而在所述作业室与外部环境之间进行清洁空气的供气或者排气，所述泄漏检查辅助装置的特征在于，具有投影装置，所述投影装置将附属于进行泄漏检查的泄漏检查装置的吸引探测器的吸引点以沿着所述过滤器的表面在相互正交的X‑Y轴方向上以恒定的间隔及恒定的速度移动的方式投影于所述过滤器的表面。
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