[发明专利]显影液回收系统有效
| 申请号： | 201780060322.7 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109791374B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 区炜锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 提供了显影液回收系统，该系统包括：显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 回收 系统 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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