[发明专利]基板检查装置及利用其的基板歪曲补偿方法有效
| 申请号： | 201780060951.X | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN109804730B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 郑升源;崔钟镇 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | H05K13/08 | 分类号： | H05K13/08;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板检查装置包括测量部、处理部及显示部。测量部获得关于基板的至少一部分的测量数据。处理部以多个选定特征对象为基础，比较基板的测量数据及基板的基准数据，且在相互对应的选定特征对象中相互比较，执行基板的歪曲补偿，检查歪曲被补偿的基板。显示部相互区别地显示作为歪曲补偿成功的区域的第一区域与作为歪曲补偿失败的区域的第二区域。处理部将能识别的有效特征对象的个数与基准个数比较，当能识别的有效特征对象的个数不足基准个数时，判定为歪曲补偿失败。因此，可以提高使用者的便利性，使用者可以容易地挽回歪曲补偿的失败，可以实现准确有效的歪曲补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 利用 歪曲 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其中，包括：测量部，其获得关于基板的至少一部分的测量数据；处理部，其以在所述基板上设置的多个选定特征对象为基础，比较所述基板的测量数据及已获得的所述基板的基准数据，且将所述测量数据的选定特征对象及所述基准数据的选定特征对象在相互对应的选定特征对象中相互比较，执行所述基板的歪曲补偿，检查经歪曲补偿的所述基板；及显示部，其在所述基板的歪曲补偿执行后，相互区别地显示作为所述歪曲补偿成功的区域的第一区域与作为所述歪曲补偿失败的区域的第二区域；所述处理部在执行所述基板的歪曲补偿时，将为了所述基板的歪曲补偿而设置的选定特征对象中能识别的有效特征对象的个数，与已设置的基准个数比较，当所述能识别的有效特征对象的个数不足所述基准个数时，判定为所述歪曲补偿失败。
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