[发明专利]压力传感器，特别是具有改进布局的麦克风有效
| 申请号： | 201780061393.9 | 申请日： | 2017-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN109845294B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·罗伯特 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 寇毛;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 特别是麦克风类型的机电压力传感器系统，包括：机电换能器、信号处理装置、用于接纳机电换能器和/或信号处理装置的至少一个支撑件(20，30)的基板(1)、布置在基板(1)的上部面(3)上的保护盖(40),机电换能器和/或信号处理装置的支撑件(20，30)被容纳在位于基板的下部面上的至少一个腔室中。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 特别是 具有 改进 布局 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器机电系统，包括：‑第一结构(20)，所述第一结构包括机电换能器，所述机电换能器设置有敏感元件(21)，所述敏感元件能够在所述敏感元件的面之间的压差的作用下移动，‑第二结构(30)，所述第二结构包括信号处理装置，所述信号处理装置用于处理由所述敏感元件(21)的移动产生的信号，‑用于容纳所述第一结构和所述第二结构(20，30)的基板(1)，所述基板包括上部面和与所述上部面相对的下部面(5)，所述第一结构和所述第二结构设置在形成于所述基板(1)中的一个或更多个腔室中并且每个腔室开口至所述基板的面中的至少一个面，所述下部面设置有至少一个连接导电区域(16)，在所述腔室中的设置有所述第一结构的第一腔室，所述第一腔室开口至所述基板的所述下部面，所述第一腔室与第一孔(12‑13，112‑113)连通，所述第一孔在所述第一腔室和所述基板的所述上部面之间穿过所述基板，所述腔室(12)具有的宽度(W1)大于所述第一孔(13)的宽度(W2)以便形成肩部，所述第一结构(20)的前部面抵靠所述肩部的支承区域，所述支承区域位于所述腔室和所述第一孔之间的界面的平面中。
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