[发明专利]蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机EL显示器的制造方法在审
| 申请号： | 201780061439.7 | 申请日： | 2017-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN109790615A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 川崎博司;小幡胜也 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部(25)的树脂掩模(20)的一面上层叠具有金属掩模开口部(15)的金属掩模(10)而成的蒸镀掩模的制造方法中，形成多个树脂掩模开口部(25)时，多个树脂掩模开口部(25)中的任1个树脂掩模开口部(25a)在树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与树脂掩模的另一面所成的锐角(θ1)、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与树脂掩模的另一面所成的锐角(θ2)不同的方式形成树脂掩模开口部(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂掩模 开口部 金属掩模 蒸镀掩模 内壁面 制造 锐角 有机半导体元件 厚度方向截面 有机EL显示器 蒸镀 图案 制作 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模的制造方法，其是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：准备在树脂板的一面上层叠有所述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及通过所述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在所述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，在形成所述树脂掩模开口部的工序中，所述多个树脂掩模开口部中的任1个树脂掩模开口部在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模开口部。
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