[发明专利]光束扫描装置有效
| 申请号： | 201780061776.6 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109791281B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;鬼头义昭;林田洋祐 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;B23K26/00;B23K26/082;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 曝光装置(EX)，是将加工用光束(LBn)投射至绕旋转轴(AXp)旋转的多面镜(PM)的多个反射面(RP)的各个，并使被多个反射面(RP)的各个反射的加工用光束(LBn)通过fθ透镜系统(FT)于基板(P)上进行扫描。该曝光装置(EX)具备：原点感测器，是在每当多面镜(PM)的多个反射面(RP)的各个成为既定的规定角度时便产生原点信号(SZn)；及修正部，其产生经修正值修正的修正原点信号(SZn')，该修正值是相应于对应多个反射面(RP)的各个而产生的原点信号(SZn)的时间上间隔的偏差量的修正值。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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